泵种类 | 油封机械泵 | 水蒸汽喷射泵 | 罗茨泵 | 油增压泵 | 油扩散泵 |
*工作范围(Pa) | 105~10 | 105~102 | 102~1 | 1~10-1 | 5×10-2~10-4 |
真空泵的定律及公式
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